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高分辨率薄膜衍射儀 定性分析在X射線光束通過索拉狹縫、發(fā)散狹縫照射在樣品上，樣品臺位于測角儀中心，基于反射幾何θs-θd，X射線光束在滿足布拉格定律時，在特定的方向上發(fā)生衍射現(xiàn)象，經(jīng)過防散射狹縫、索拉狹縫、接收狹縫到達X射線探測器上，最終經(jīng)過數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)在分析軟件上展現(xiàn)出采集的衍射圖譜。